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半導(dǎo)體材料精餾設(shè)備

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合肥天狄科技有限公司由天津大學(xué)化工學(xué)院；安徽工業(yè)大學(xué)化學(xué)與化工學(xué)院和精餾技術(shù)國(guó)家工程研究中心發(fā)展項(xiàng)目而成立的，在科技飛速發(fā)展的今天，化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備對(duì)于推動(dòng)化工產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新與進(jìn)步起著至關(guān)重要的作用。合肥天狄科技作為一家專(zhuān)注于化工實(shí)驗(yàn)設(shè)備的專(zhuān)業(yè)公司，致力于為客戶(hù)提供優(yōu)良、可靠的實(shí)驗(yàn)設(shè)備解決方案。

發(fā)布時(shí)間：2025-06-14 10:50:49

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信息詳情

半導(dǎo)體材料精餾設(shè)備是用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中高純度化學(xué)原料提純的核心裝備，其核心功能是通過(guò)物理分離技術(shù)去除原料中的雜質(zhì)，確保半導(dǎo)體材料達(dá)到電子級(jí)純度標(biāo)準(zhǔn)。

設(shè)備原理：
半導(dǎo)體材料（如硅烷、鍺烷、高純氯氣等）的精餾基于沸點(diǎn)差異實(shí)現(xiàn)分離。原料在精餾塔內(nèi)受熱蒸發(fā)，不同組分因沸點(diǎn)不同在塔板或填料層中形成濃度梯度，輕組分（低沸點(diǎn)雜質(zhì)）向上富集，重組分（高沸點(diǎn)雜質(zhì)）向下沉降，然后在塔頂和塔底分別獲得高純度目標(biāo)產(chǎn)物和雜質(zhì)餾分。該過(guò)程需結(jié)合熱力學(xué)平衡與傳質(zhì)效率優(yōu)化，確保分離精度。

核心結(jié)構(gòu)：
1、精餾塔：半導(dǎo)體材料精餾設(shè)備采用耐腐蝕合金或特種玻璃材質(zhì)，內(nèi)部填充高能效填料（如規(guī)整填料）或設(shè)置塔板，以增強(qiáng)氣液接觸面積。
2、加熱與冷凝系統(tǒng)：通過(guò)精密控溫的加熱裝置提供蒸發(fā)能量，冷凝器則將目標(biāo)組分液化回收。
3、真空系統(tǒng)：部分設(shè)備配備真空泵，降低操作壓力以減少熱敏性物質(zhì)分解風(fēng)險(xiǎn)。
4、自動(dòng)化控制系統(tǒng)：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、壓力、流量等參數(shù)，確保工藝穩(wěn)定性。

技術(shù)特點(diǎn)：
1、高純度保障：采用全封閉循環(huán)系統(tǒng)，避免外界污染，結(jié)合分子篩吸附或化學(xué)捕集技術(shù)進(jìn)一步脫除微量雜質(zhì)。
2、節(jié)能設(shè)計(jì)：半導(dǎo)體材料精餾設(shè)備通過(guò)多級(jí)精餾、熱泵技術(shù)或余熱回收裝置降低能耗。
3、安全防護(hù)：針對(duì)易燃易爆或有毒原料，設(shè)備配備防爆膜、緊急泄壓閥及氣體泄漏檢測(cè)裝置。

應(yīng)用場(chǎng)景：
半導(dǎo)體材料精餾設(shè)備廣泛應(yīng)用于硅晶圓制造（如三氯氫硅提純）、化合物半導(dǎo)體（如砷化鎵、氮化鎵前驅(qū)體合成）及光刻膠溶劑回收等領(lǐng)域，是保障芯片良率與性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體工藝向更小線寬發(fā)展，對(duì)精餾設(shè)備的分離效率與純度控制提出了更高要求。

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