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核心工作原理

1. 預處理階段：原料氣先經(jīng)過過濾、干燥等預處理，去除大部分固體顆粒與水分，避免后續(xù)設備堵塞或污染。
2. 精密精餾階段：預處理后的氣體進入特制精餾塔，塔內(nèi)通過塔板或填料增加氣液接觸面積。利用塔底加熱、塔頂冷凝的循環(huán)，使氣體中的易揮發(fā)組分（目標氣體）與難揮發(fā)組分（雜質(zhì)）反復分離，逐步提升純度。
3. 后提純階段：從精餾塔頂部產(chǎn)出的氣體，再經(jīng)過吸附、膜分離等二次提純，進一步降低微量雜質(zhì)含量，最終達到 EP 級標準。

關鍵技術特點

1. 材質(zhì)特殊：為滿足極致提純需求，EP 級精餾裝置接觸氣體的部件（如精餾塔、管道、閥門）多采用 316L 不銹鋼或哈氏合金，且內(nèi)壁經(jīng)過電解拋光（EP 拋光），減少雜質(zhì)吸附與溶出。
2. 控制精準：配備高精度溫度、壓力、流量傳感器與自動控制系統(tǒng)，可實時調(diào)節(jié)精餾參數(shù)（如塔內(nèi)溫度差控制在 ±0.1℃內(nèi)），確保純度穩(wěn)定。
3. 超低泄漏設計：采用無死角密封結構與氦質(zhì)譜檢漏技術，泄漏率控制在 1×10?? Pa?m3/s 以下，防止外界雜質(zhì)滲入。